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400 8483 886| 基本参数 | |||
| 产品品牌 | 格莱尼尔 | ||
| 产品型号 | GN90MS-N | GN210MS-N | |
| 温度范围 | 室温+10℃-250℃ | ||
| 温度分辨率 | 0.1℃ | ||
| 恒温波动度 | ≤±0.5℃ | ||
| 达到真空度 | 133Pa | ||
| 电源电压 | 220V-50Hz | 380V-50Hz | |
| 产品功率 | 2.8KW | 4.5KW | |
| 工作室尺寸 | 450(W)*450(D)*450(H)mm | 560(W)*640(D)*600(H)mm | |
| 外形尺寸 | 880(W)*720(D)*1600(H)mm | 750(W)*850(D)*1600(H)mm | |
| 载物托架 | 2块 | 3块 | |
| 功能特点 | |
内胆：工作室采用 3mm 优质不锈钢内胆，四周圆弧角焊接，表面净化处理，密闭不漏气，内部自身不产尘，适用于半导体晶圆，光电等洁净环境。 | |
外壳：采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘。 | |
密封性：门封采用四氟乙烯双层密封一体成型耐高温胶条，密封性好，柔软洁净无污染。 | |
温控器：采用日本 FUJI 数字型智能温度控制器，控制精度±0.1℃，PID 自动演算，自动恒温，带温度传感器断线报警，超温断加热，过冲抑制，抗干扰，AT 自整定，温度偏差修正功能，带 8 段斜率升温功能。 | |
温度传感器：采用日制 PT100 铂金电阻，不锈钢铠装覆套，精度±0.5%，反应灵敏，抗干扰，耐高温 | |
真空计：采用三菱 PLC 压力控制模块搭配真空压力变送器，压力精度 1pa | |
| 真空泵：采用优质双旋片油泵，真空极限 10-3pa,亦可根据客户需要配置进口真空泵。 | |
| 充氮系统：采用惰性气体进气阀，不锈钢无缝焊接管路，搭配日本进口电磁阀，截止阀，耐压，无泄漏。台制氮气流量计，压力调节阀，可充入氮气，氩气等多种惰性气体，氮气流量，充入时间可控制。 | |
| 安全保护系统：配置机台异常工作状态指示报警，安全断路器，过压过载保护，控制线路保险管，超温保护，压力过载保护，安全急停开关、工作状态三色指示灯。所用电器器件及气动元件均采用品牌电器，确保安全可靠。 |
| HDMS 注液系统 | |
防爆型 HDMS 制剂瓶，配置不锈钢药液管道，电磁回流阀，真空状态打开阀门自动注液，安全密封无泄漏。 | |
更加环保和安全，HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整个过程是在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。 |
| 工艺流程 |
首先设定烘箱工作温度，典型的预处理程序为∶打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到5000Pa后，开始充入氮气，充到90000Pa后，再次进行抽真空、充入氮气如此往复吹扫净化腔室，到达设定的吹扫次数后，再次开始抽真空到2000Pa，充入通过氮气鼓出的HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS 药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS 反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气如此往复吹扫清除HMDS残余，到达设定的吹扫次数后，完成整个作业过程。 |
